超声雾化CVD系统

发布时间: 2025-10-09 22:39:39    浏览次数:57

超声雾化CVD(Ultrasonic Spray Pyrolysis Chemical Vapor Deposition)系统是一种将超声雾化技术与化学气相沉积(CVD)相结合的先进薄膜制备设备。它利用超声波将液态前驱体溶液雾化成微米级甚至亚微米级的均匀液滴,然后通过载气将这些液滴输送到高温反应区,在基底表面发生热分解或化学反应,从而沉积出高质量的固态薄膜。

该技术特别适用于那些难以获得高纯气态前驱体、或使用气态前驱体成本过高的材料体系,是传统CVD和喷雾热解(Spray Pyrolysis)技术的重要升级。

  

产品详情
应用领域
客户应用案例
留言咨询

设备核心特点与优势:

1、前驱体来源广泛且成本低

可使用廉价、易得的液态金属盐溶液(如硝酸盐、氯化物、醋酸盐),避免了昂贵、危险的金属有机气相沉积。

2、组分控制精确

多种前驱体溶液可按比例混合雾化,实现多元复合薄膜(如钙钛矿、三元正极材料)的精确掺杂和成分调控。

3、薄膜均匀性好

超声雾化产生的液滴粒径小、分布窄、浓度均匀,有利于获得厚度和成分均匀的薄膜。

4、沉积面积大

易于实现大面积均匀沉积,适合卷对卷(Roll-to-Roll)连续生产。

5、操作温度相对较低

相比传统CVD,可在较低温度下沉积某些材料(如FTO在450-550°C)。

6、可制备复杂形貌

通过调节工艺参数(浓度、流量、温度),可控制薄膜的微观结构(致密、多孔、纳米颗粒)。

7、绿色环保

避免使用高毒性的金属有机物(MO源),溶剂可回收利用。

设备名称

迷你管式炉

设备型号

NBD-O1200-50TI-80

电源电压

220V/50HZ

额定功率

1.2KW

最高温度

1200℃

额定温度

1150℃

炉膛空间

Φ80×200mm

设备外形尺寸

920×460×360mm

传感器类型

K型热电偶

推荐升温速率

10℃/min

可配炉管尺寸

Φ25*600mm  Φ50*600mm

设备重量

23KG

防腐超声雾化仪

设备名称

防腐超声雾化仪

规格型号

NBD-U2.4-0.36L

供电电源

单相220V 50HZ

额定功率

55W(其中雾化仪35W,蠕动泵20W)

额定流量

9ml/min

蠕动泵泵头型号

WP110

蠕动泵泵管型号

φ2(内径)*1mm(壁厚)

浮子流量计

0.5-8L/min

储液罐容积

160ml

雾化颗粒度

5-10μm

雾化频率

2.4MHZ

设备尺寸(带金属导轨和底板)

800mm*高390mm*深280mm

设备重量(带金属导轨和底板)

10KG

控制系统

1.可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦;

2.实验过程更加直观,操作更加便捷;

3.NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,非线性式样温度修正;

4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。


温度精度

+/- 1℃

设备使用注意事项

1.设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;

2.设备使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(绝对压力),以防止压力过大冲开密封法兰;

3.高真空下使用时(10-3Pa),设备使用温度不得超过800℃

服务支持

一年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管和O形圈,请在下面的相关产品处订购更换件。)

主要应用领域

透明导电氧化物TCO): 

制备氧化铟锡ITO)、掺铝氧化锌AZO)、掺氟氧化锡FTO)等,用于太阳能电池、触摸屏、LED

光催化与光电材料: 

沉积二氧化钛TiO₂)、氧化锌ZnO)、硫化镉CdS)等薄膜,用于光解水、光伏器件。

锂离子电池电极材料: 

制备磷酸铁锂LiFePO₄)、三元材料NCM)等正极材料薄膜或粉末。

功能涂层: 

制备防反射膜、疏水/亲水涂层、气敏薄膜等。

纳米结构材料: 

可直接生长纳米颗粒、纳米线阵列或多孔薄膜,无需后续烧结。

咨询热线:400-000-3746
销售热线: 0371-6320 2801
               0371-6320 2805
售后服务: 0371-6320 2805
蔡永国: 181-0371-5723
高经理: 188-3829-0747
黄经理: 188-3829-0748
Email: nbd@nbdkj.com
地址:郑州·新郑·新华街道竹园8号
联系方式
Contact
产品中心
ServiceItems
电话:400-000-3746
联系我们
销售热线: 0371-6320 2801
               0371-6320 2805
售后服务: 0371-6320 2805
蔡永国: 181-0371-5723
Email : nbd@nbdkj.com
地址:郑州·新郑·新华街道竹园8号
copyright © 2024 河南诺巴迪材料科技有限公司