超声雾化CVD系统
发布时间: 2025-10-09 22:39:39 浏览次数:57
![]() | 设备核心特点与优势: 1、前驱体来源广泛且成本低: 可使用廉价、易得的液态金属盐溶液(如硝酸盐、氯化物、醋酸盐),避免了昂贵、危险的金属有机气相沉积。 2、组分控制精确: 多种前驱体溶液可按比例混合雾化,实现多元复合薄膜(如钙钛矿、三元正极材料)的精确掺杂和成分调控。 3、薄膜均匀性好: 超声雾化产生的液滴粒径小、分布窄、浓度均匀,有利于获得厚度和成分均匀的薄膜。 4、沉积面积大: 易于实现大面积均匀沉积,适合卷对卷(Roll-to-Roll)连续生产。 5、操作温度相对较低 相比传统CVD,可在较低温度下沉积某些材料(如FTO在450-550°C)。 6、可制备复杂形貌: 通过调节工艺参数(浓度、流量、温度),可控制薄膜的微观结构(致密、多孔、纳米颗粒)。 7、绿色环保: 避免使用高毒性的金属有机物(MO源),溶剂可回收利用。 | |
设备名称 | 迷你管式炉 | |
设备型号 | NBD-O1200-50TI-80 | |
电源电压 | 220V/50HZ | |
额定功率 | 1.2KW | |
最高温度 | 1200℃ | |
额定温度 | 1150℃ | |
炉膛空间 | Φ80×200mm | |
设备外形尺寸 | 长920×高460×深360mm | |
传感器类型 | K型热电偶 | |
推荐升温速率 | 10℃/min | |
可配炉管尺寸 | Φ25*600mm Φ50*600mm | |
设备重量 | 约23KG | |
防腐超声雾化仪 | ||
设备名称 | 防腐超声雾化仪 | |
规格型号 | NBD-U2.4-0.36L | |
供电电源 | 单相220V 50HZ | |
额定功率 | 55W(其中雾化仪35W,蠕动泵20W) | |
额定流量 | 9ml/min | |
蠕动泵泵头型号 | WP110 | |
蠕动泵泵管型号 | φ2(内径)*1mm(壁厚) | |
浮子流量计 | 0.5-8L/min | |
储液罐容积 | 160ml | |
雾化颗粒度 | 5-10μm | |
雾化频率 | 2.4MHZ | |
设备尺寸(带金属导轨和底板) | 长800mm*高390mm*深280mm | |
设备重量(带金属导轨和底板) | 约10KG | |
控制系统 | 1.可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦; 2.实验过程更加直观,操作更加便捷; 3.NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,非线性式样温度修正; 4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 | |
温度精度 | +/- 1℃ | |
设备使用注意事项 | 1.设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害; 2.设备使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(绝对压力),以防止压力过大冲开密封法兰; 3.高真空下使用时(10-3Pa),设备使用温度不得超过800℃。 | |
服务支持 | 一年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管和O形圈,请在下面的相关产品处订购更换件。) |
主要应用领域
透明导电氧化物(TCO):
制备氧化铟锡(ITO)、掺铝氧化锌(AZO)、掺氟氧化锡(FTO)等,用于太阳能电池、触摸屏、LED。
光催化与光电材料:
沉积二氧化钛(TiO₂)、氧化锌(ZnO)、硫化镉(CdS)等薄膜,用于光解水、光伏器件。
锂离子电池电极材料:
制备磷酸铁锂(LiFePO₄)、三元材料(NCM)等正极材料薄膜或粉末。
功能涂层:
制备防反射膜、疏水/亲水涂层、气敏薄膜等。
纳米结构材料:
可直接生长纳米颗粒、纳米线阵列或多孔薄膜,无需后续烧结。
销售热线: 0371-6320 2801
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电话:400-000-3746